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2020年中國光刻機產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀和競爭分析

競爭格局——CR3超過90%

目前,全球光刻機市場的主要企業(yè)即ASML,尼康(Nikon)和佳能(Canon)三家,從光刻機銷售額來看,2019年三家企業(yè)的合計市場份額就占到了全球光刻機市場的90%以上。其中ASML由于其技術(shù)領(lǐng)先,壟斷了第五代光刻機(EUV光刻機),獨占75%的市場份額,Nikon與Canon分別占據(jù)13%和6%的市場份額。

圖表8: 2019年全球光刻機市場競爭格局(單位:%)

細分格局——i-line光刻機出貨最多

從細分市場來看,近年來,市場上銷售的光刻機主要為EUV光刻機、ArF lm光刻機、ArF  Dry光刻機、KrF光刻機和i-line光刻機。從2019年這五類光刻機的銷量情況來看,i-line光刻機的銷量最高,為116臺。在這116臺中,Canon公司貢獻了一半以上。

從企業(yè)的角度來看,Canon主要的光刻機銷售都集中在i-line光刻機這一類型;Nikon的光刻機銷售則縱向跨度較大,在除EUV之外的類型均有涉及,其中以Arf和i-line的領(lǐng)域較為突出;ASML則在除i-line光刻機之外的領(lǐng)域均具有較強的統(tǒng)治力。

 圖表9:2019年ASML、Nikon、Canon光刻機細分產(chǎn)品結(jié)構(gòu)(單位:%)

行業(yè)供給——銷售量略有下降

從行業(yè)供給來看,2014-2018年,光刻機top3企業(yè)銷售量呈現(xiàn)波動增長的態(tài)勢。2019年,光刻機銷售量有所下滑,僅為354臺,較2018年下降了3.8%。2020年第一季度,全球光刻機top3企業(yè)銷售量實現(xiàn)85臺。

圖表10:2014-2020年光刻機top3企業(yè)光刻機銷售數(shù)量情況(單位:臺)

國產(chǎn)企業(yè)——行業(yè)正在加快研發(fā)進度

長期以來,我國的光刻技術(shù)落后于先進國家,成為我國工業(yè)現(xiàn)代化進程的一塊短板。近年來,在國家政策的扶持以及一批龍頭企業(yè)的帶領(lǐng)下,我國光刻機技術(shù)也開始了飛速的發(fā)展,由長春光機所牽頭承擔的國家科技重大專項02專項——“極紫外光刻(EUVL)關(guān)鍵技術(shù)研究”項目也順利完成了驗收前現(xiàn)場測試。

但我國企業(yè)在光刻機制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離,光刻機行業(yè)研發(fā)進度仍待加快。

我國光刻機相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進展情況如下所示:

圖表11: 我國光刻機相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進展情況(單位:nm)


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