競(jìng)爭格局——CR3超過90％

目前，全球光刻機(jī)市場(chǎng)的主要企業(yè)即ASML，尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家，從光刻機(jī)銷售額來看，2019年三家企業(yè)的合計(jì)市場(chǎng)份額就占到了全球光刻機(jī)市場(chǎng)的90％以上。其中ASML由于其技術(shù)領(lǐng)先，壟斷了第五代光刻機(jī)（EUV光刻機(jī)），獨(dú)占75％的市場(chǎng)份額，Nikon與Canon分別占據(jù)13％和6％的市場(chǎng)份額。

細(xì)分格局——i－line光刻機(jī)出貨最多

從細(xì)分市場(chǎng)來看，近年來，市場(chǎng)上銷售的光刻機(jī)主要為EUV光刻機(jī)、ArF lm光刻機(jī)、ArF  Dry光刻機(jī)、KrF光刻機(jī)和i－line光刻機(jī)。從2019年這五類光刻機(jī)的銷量情況來看，i－line光刻機(jī)的銷量最高，為116臺(tái)。在這116臺(tái)中，Canon公司貢獻(xiàn)了一半以上。

從企業(yè)的角度來看，Canon主要的光刻機(jī)銷售都集中在i－line光刻機(jī)這一類型；Nikon的光刻機(jī)銷售則縱向跨度較大，在除EUV之外的類型均有涉及，其中以Arf和i－line的領(lǐng)域較為突出；ASML則在除i－line光刻機(jī)之外的領(lǐng)域均具有較強(qiáng)的統(tǒng)治力。

行業(yè)供給——銷售量略有下降

從行業(yè)供給來看，2014－2018年，光刻機(jī)top3企業(yè)銷售量呈現(xiàn)波動(dòng)增長的態(tài)勢(shì)。2019年，光刻機(jī)銷售量有所下滑，僅為354臺(tái)，較2018年下降了3．8％。2020年第一季度，全球光刻機(jī)top3企業(yè)銷售量實(shí)現(xiàn)85臺(tái)。

國產(chǎn)企業(yè)——行業(yè)正在加快研發(fā)進(jìn)度

長期以來，我國的光刻技術(shù)落后于先進(jìn)國家，成為我國工業(yè)現(xiàn)代化進(jìn)程的一塊短板。近年來，在國家政策的扶持以及一批龍頭企業(yè)的帶領(lǐng)下，我國光刻機(jī)技術(shù)也開始了飛速的發(fā)展，由長春光機(jī)所牽頭承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)——“極紫外光刻（EUVL）關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目也順利完成了驗(yàn)收前現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。

但我國企業(yè)在光刻機(jī)制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，光刻機(jī)行業(yè)研發(fā)進(jìn)度仍待加快。

我國光刻機(jī)相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況如下所示：