Source：BASF官網(wǎng)

這座新廠(chǎng)將生產(chǎn)超高純度氫氧化銨，用于晶圓清洗、蝕刻及精密半導(dǎo)體制造過(guò)程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，計(jì)劃于2027年正式投產(chǎn)。該項(xiàng)目將直接為歐洲范圍內(nèi)快速擴(kuò)張的芯片制造企業(yè)供貨，助力本地半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的穩(wěn)定建設(shè)。

巴斯夫路德維希港一體化基地(Source：BASF官網(wǎng))

在歐洲積極推動(dòng)“芯片法案”、重建制造基礎(chǔ)的大背景下，這一投資不僅是巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)的又一次擴(kuò)張，更是歐洲半導(dǎo)體生態(tài)自給化的關(guān)鍵一步。

01 從化工老廠(chǎng)到芯片材料新陣地

資料顯示，巴斯夫（BASF）總部位于德國(guó)路德維希港，成立于1865年，是全球領(lǐng)先的化工企業(yè)之一。公司在德國(guó)、比利時(shí)、中國(guó)等地?fù)碛?個(gè)一體化生產(chǎn)基地，并為半導(dǎo)體行業(yè)提供高純度原料及專(zhuān)用化學(xué)品，覆蓋清洗、蝕刻、光刻、金屬沉積和化學(xué)機(jī)械拋光等工藝。

官網(wǎng)指出，目前，巴斯夫在大中華區(qū)擁有27個(gè)主要全資子公司，11個(gè)主要合資公司，以及28個(gè)銷(xiāo)售辦事處。巴斯夫在大中華區(qū)的業(yè)務(wù)包括石油化學(xué)品、中間體、特性材料、單體、分散體和樹(shù)脂、特性化學(xué)品、護(hù)理化學(xué)品、營(yíng)養(yǎng)與健康、涂料、環(huán)境催化劑與金屬解決方案、電池材料及農(nóng)業(yè)解決方案。

路德維希港，是巴斯夫的誕生地，也是全球最大的化工一體化基地，占地面積超過(guò)10平方公里，擁有約200個(gè)工廠(chǎng)、2000多棟建筑。如今，在這個(gè)百年廠(chǎng)區(qū)內(nèi)再建一座電子級(jí)化學(xué)品工廠(chǎng)，顯然不僅是產(chǎn)能擴(kuò)充的決定，也是一場(chǎng)戰(zhàn)略遷移。

過(guò)去十年，全球化工行業(yè)的利潤(rùn)重心正從大宗化學(xué)原料向高附加值、極高純度的專(zhuān)用化學(xué)品轉(zhuǎn)移。電子級(jí)氫氧化銨正是典型代表，它被廣泛應(yīng)用于晶圓清洗與蝕刻工藝中，對(duì)雜質(zhì)控制要求極高——金屬雜質(zhì)需低于十億分之一（ppb級(jí)，業(yè)界典型標(biāo)準(zhǔn)）。生產(chǎn)這樣的化學(xué)品，依賴(lài)化學(xué)反應(yīng)的精準(zhǔn)控制和考驗(yàn)純化、存儲(chǔ)和運(yùn)輸?shù)摹盁o(wú)污染體系”能力。

巴斯夫此舉的背后，是歐洲半導(dǎo)體自主可控戰(zhàn)略的加速。長(zhǎng)期以來(lái)，歐洲在高純度濕電子化學(xué)品方面對(duì)日韓進(jìn)口依賴(lài)度高，供應(yīng)周期長(zhǎng)且成本高昂。隨著英特爾、臺(tái)積電、英飛凌等在德國(guó)和意大利等地?cái)U(kuò)大晶圓廠(chǎng)投資，本地化化學(xué)品供應(yīng)成為歐洲芯片產(chǎn)業(yè)鏈的“短板”之一。

巴斯夫的新工廠(chǎng)，將成為歐洲電子材料網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，可支撐德累斯頓、馬格德堡等新興半導(dǎo)體制造基地的供應(yīng)需求，也將通過(guò)本地化生產(chǎn)，縮短供應(yīng)鏈響應(yīng)周期，增強(qiáng)區(qū)域產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略韌性。

正如一位業(yè)內(nèi)分析人士指出，歐洲芯片競(jìng)爭(zhēng)的下半場(chǎng)，不再是拼建多少座晶圓廠(chǎng)，而是誰(shuí)能先把上游材料和化學(xué)品體系做到安全、可追溯、綠色化。

02 一瓶化學(xué)品，撐起晶圓制造的潔凈極限

在芯片制造的世界里，化學(xué)品的純度決定了產(chǎn)品的良率。而氫氧化銨（NH?OH）正是其中最關(guān)鍵的一種。

在晶圓制造過(guò)程中，晶圓需要經(jīng)過(guò)上百次的光刻、沉積、蝕刻與清洗工序。每一個(gè)環(huán)節(jié)都可能留下納米級(jí)顆粒、金屬離子或有機(jī)殘留。而氫氧化銨與過(guò)氧化氫、超純水共同構(gòu)成了經(jīng)典的“RCA清洗液”體系，用于去除晶圓表面的污染物，確保后續(xù)電路層沉積的可靠性。

電子級(jí)氫氧化銨的制造工藝可謂“化學(xué)中的半導(dǎo)體”。在密閉環(huán)境中，氨氣與超純水反應(yīng)生成氫氧化銨，經(jīng)多級(jí)蒸餾與離子交換純化后，再以≥99.999%的純度灌裝、儲(chǔ)運(yùn)。整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程要求在100級(jí)或更高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室環(huán)境中進(jìn)行，任何顆粒污染都可能導(dǎo)致整批產(chǎn)品報(bào)廢。

從產(chǎn)業(yè)鏈角度看，電子級(jí)氫氧化銨屬于半導(dǎo)體濕化學(xué)品的一部分。其上游為氨氣、水和精細(xì)化學(xué)設(shè)備制造商；中游為化學(xué)品精制與封裝企業(yè)；下游則面向晶圓廠(chǎng)、面板廠(chǎng)、光伏企業(yè)等精密制造客戶(hù)。

目前，全球電子級(jí)濕化學(xué)品市場(chǎng)幾乎被日、韓、德三國(guó)企業(yè)壟斷。日本的三菱化學(xué)、住友化學(xué)，韓國(guó)的東進(jìn)世美肯，以及德國(guó)的巴斯夫、默克（Merck）構(gòu)成全球核心陣營(yíng)。隨著半導(dǎo)體制程進(jìn)入2納米時(shí)代，化學(xué)品純度和穩(wěn)定性成為決定芯片良率的關(guān)鍵變量。

03 從“全球化分工”到“區(qū)域安全化”的重構(gòu)

全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈正在經(jīng)歷結(jié)構(gòu)性調(diào)整。地緣政治、能源價(jià)格波動(dòng)等國(guó)際因素，讓各大經(jīng)濟(jì)體都重新審視材料與制造的安全邊界。過(guò)去以效率為核心的全球化分工，正在被“安全與韌性導(dǎo)向”的區(qū)域產(chǎn)業(yè)鏈取代。

歐洲的應(yīng)對(duì)是雙線(xiàn)并進(jìn)，一方面，通過(guò)《歐洲芯片法案》吸引制造巨頭落地，另一方面，加速上游關(guān)鍵材料的本地化建設(shè)，以降低戰(zhàn)略依賴(lài)。

根據(jù)公開(kāi)市場(chǎng)研究資料，歐洲半導(dǎo)體材料市場(chǎng)規(guī)模估計(jì)在數(shù)十億美元級(jí)別，電子化學(xué)品大約占該市場(chǎng)的四分之一左右。隨著晶圓制造產(chǎn)能在德國(guó)、法國(guó)、意大利陸續(xù)投放，歐洲對(duì)高純濕化學(xué)品的需求預(yù)計(jì)將以年均10%以上的速度增長(zhǎng)。

巴斯夫、默克、林德氣體等企業(yè)的持續(xù)擴(kuò)建，正在為歐洲的“芯片獨(dú)立計(jì)劃”打下化學(xué)基礎(chǔ)�？梢哉f(shuō)，半導(dǎo)體的真正競(jìng)爭(zhēng)力，在于設(shè)備和制程，也在于材料體系是否可持續(xù)與安全可控。

04 結(jié)語(yǔ)

在半導(dǎo)體被譽(yù)為“工業(yè)命脈”的今天，化學(xué)品的純度與穩(wěn)定性決定了整個(gè)制造體系的上限。從能源獨(dú)立到芯片自主，再到高純材料國(guó)產(chǎn)化，歐洲正在嘗試重塑工業(yè)底座。而巴斯夫這座新工廠(chǎng)，正是這一戰(zhàn)略路徑中的“基礎(chǔ)拼圖”。

在全球化工行業(yè)普遍面臨增長(zhǎng)放緩的背景下，高純度電子材料、儲(chǔ)能電解液、功能性聚合物等新興領(lǐng)域正成為化工企業(yè)的新利潤(rùn)高地。到2030年，歐盟計(jì)劃將全球芯片生產(chǎn)份額從目前的10%提升至20%。然而晶圓廠(chǎng)只是起點(diǎn)，真正決定成敗的，是那些藏在顯微鏡之外、讓每一片晶圓“無(wú)塵誕生”的化學(xué)工廠(chǎng)。（封面圖來(lái)源：BASF）