據(jù)中國機(jī)床行業(yè)報道，北京博魯斯潘精密機(jī)床有限公司與中國科學(xué)院長春光機(jī)所國望光學(xué)楊懷江博士團(tuán)隊合作研發(fā)的光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)超精密磨床ULTR－700VG，于2021年5月18日通過國家機(jī)床質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢測中心檢測。該超精密機(jī)床工作臺直徑700mm，X軸行程：＞ 350mm、Z軸行程：＞250mm、X軸定位精度：3μm／350mm（VDI 3441）、X軸重復(fù)定位精度：＋／－1μm（VDI 3441）、X軸直線度：1μm／100mm，3μm／350mm、Z軸直線度：1μm／100mm，2μm／250mm、X軸與工作臺平行度：0．5μm／350mm、Z軸與工作臺垂直度：2μm／250mm、X，Z軸最小可執(zhí)行位移為0．1μm。磨削500mm直徑的合金鋼零件的平面度以及雙面平行度達(dá)到0．2微米；該超精密數(shù)控機(jī)床是高剛度的工程化實用產(chǎn)品，可以廣泛應(yīng)用于我國IC電路、光學(xué)工業(yè)、航空航天等精密超精密制造領(lǐng)域的批量化生產(chǎn)；該技術(shù)和產(chǎn)品處于世界領(lǐng)先水平，屬于我國機(jī)床工業(yè)領(lǐng)域的首臺套；公司擁有自主知識產(chǎn)權(quán)；這些技術(shù)和裝備，是制造光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)、光刻機(jī)工作臺系統(tǒng)的關(guān)鍵；超精密納米光學(xué)零件首先要通過這類超精密裝備的高效批量加工后，再通過等離子體局部拋光，才能達(dá)到納米級的面形精度和亞納米級表面粗糙度，否則就很困難。項目組負(fù)責(zé)人北京博魯斯潘精密吳行飛博士表示，優(yōu)化工作環(huán)境，避免干擾，下一步的目標(biāo)是直徑2000mm的超大型光學(xué)超精密技術(shù)與數(shù)控裝備的研發(fā)，精度將突破0．02微米。

據(jù)筆者檢索，北京博魯斯潘精密是一家國資與民營混合制國家級高新技術(shù)企業(yè)，公司創(chuàng)始人吳行飛博士早年師從我國超精密機(jī)床和工藝研究泰斗、中科院院士徐性初先生，后在德國訪問學(xué)習(xí)，從事超精密共性基礎(chǔ)技術(shù)和工藝研究20多年。2006年回國后，創(chuàng)立了北京博魯斯潘精密，在中國寶安集團(tuán)、凱泰資本、湖南航空航天基金、杭實集團(tuán)、華盛一泓、紅馬資本的推動下，公司先后獲得了數(shù)億元的資金支持，已經(jīng)陸續(xù)推出精密五軸聯(lián)動光學(xué)數(shù)控加工中心、超精密光學(xué)數(shù)控車床。將超精密共性基礎(chǔ)技術(shù)與工藝降維使用在高端數(shù)控機(jī)床領(lǐng)域，又推出了十七軸雙主軸五面體五軸聯(lián)動臥式加工中心、六軸五聯(lián)動飛機(jī)發(fā)動機(jī)渦輪蝸扇、葉片精密銑削和葉榫精密磨削加工中心。該類高精尖超精密數(shù)控機(jī)床對我國芯片、IC集成電路、光學(xué)、航空航天工業(yè)突破國外封鎖，實現(xiàn)高精尖技術(shù)與裝備的自主可控發(fā)展，具有重要的戰(zhàn)略意義和經(jīng)濟(jì)意義，是解決“卡脖子”問題的關(guān)鍵裝備。公司以進(jìn)口替代為目標(biāo)，已經(jīng)形成了商業(yè)化產(chǎn)品，在汽車零部件領(lǐng)域，已經(jīng)交付用戶六條自動化生產(chǎn)線，是新中國成立以來，唯一在世界龍頭企業(yè)批量化全廠替代進(jìn)口高端數(shù)控機(jī)床的公司。機(jī)器自2015以來，實現(xiàn)了每天24小時不停機(jī)生產(chǎn)，完成了穩(wěn)態(tài)和可靠性的長期驗證；2019年10月，中國機(jī)械工業(yè)聯(lián)合、中國機(jī)床工具協(xié)會組織了國家級鑒定，與會專家認(rèn)為，這一突破，對我國高端數(shù)控裝備的技術(shù)進(jìn)步，具有重要的推動作用。吳行飛博士個人、團(tuán)隊各項成果先后獲得中國機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎一次、二等獎兩次。

光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)零件超精密數(shù)控磨床 ULTRA 7600VG