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同樣制造光刻機(jī)，日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊(duì)？

2021-03-17 09:19

快科技

關(guān)注

ASML已經(jīng)成為了全球第一大光刻機(jī)廠商，而且最頂尖的EUV光刻機(jī)更是獨(dú)家壟斷。

日前與媒體交流時(shí)，ASML技術(shù)開(kāi)發(fā)副總裁Tony Yen確認(rèn)了此前外界的猜測(cè)，他表示EUV光刻機(jī)目前有三大客戶，分別是臺(tái)積電、三星和Intel。

至于同樣制造光刻機(jī)的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊(duì)，Yen指出，我們從2000年左右開(kāi)發(fā)EUV，并決定大批量生產(chǎn)這種光刻機(jī)。

日本人沒(méi)有這么做，因?yàn)樗麄冇X(jué)得系統(tǒng)太復(fù)雜。實(shí)際上，我們當(dāng)時(shí)也不是100％確信EUV光刻機(jī)會(huì)成功。

當(dāng)然，Yen提到，EUV光刻機(jī)的成功還有蔡司、Cymer（已被ASML收購(gòu)）等企業(yè)參與，其中蔡司獨(dú)家向ASML出售半導(dǎo)體相關(guān)的曝光產(chǎn)品。

據(jù)官方披露的數(shù)據(jù)，去年全球光刻機(jī)總銷(xiāo)售量為413臺(tái)，其中ASML銷(xiāo)售258臺(tái)占比62％，佳能銷(xiāo)售122臺(tái)占比30％，尼康銷(xiāo)售33臺(tái)占比8％。從光刻機(jī)類(lèi)型來(lái)看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i－line（份額69％）。

作者：萬(wàn)南來(lái)源：快科技

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