同樣制造光刻機，日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊？
2021-03-17 09:19
快科技
關注
ASML已經成為了全球第一大光刻機廠商，而且最頂尖的EUV光刻機更是獨家壟斷。
日前與媒體交流時，ASML技術開發(fā)副總裁Tony Yen確認了此前外界的猜測，他表示EUV光刻機目前有三大客戶，分別是臺積電、三星和Intel。
至于同樣制造光刻機的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊，Yen指出，我們從2000年左右開發(fā)EUV，并決定大批量生產這種光刻機。
日本人沒有這么做，因為他們覺得系統(tǒng)太復雜。實際上，我們當時也不是100％確信EUV光刻機會成功。
當然，Yen提到，EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer（已被ASML收購）等企業(yè)參與，其中蔡司獨家向ASML出售半導體相關的曝光產品。
據官方披露的數(shù)據，去年全球光刻機總銷售量為413臺，其中ASML銷售258臺占比62％，佳能銷售122臺占比30％，尼康銷售33臺占比8％。從光刻機類型來看，尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i－line（份額69％）。
作者：萬南來源：快科技
分享
聲明：
本文系OFweek根據授權轉載自其它媒體或授權刊載，目的在于信息傳遞，并不代表本站贊同其觀點和對其真實性負責，如有新聞稿件和圖片作品的內容、版權以及其它問題的，請聯(lián)系我們。
請輸入評論內容...
請輸入評論/評論長度6~500個字
