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同樣制造光刻機,日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊?

2021-03-17 09:19
快科技
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ASML已經成為了全球第一大光刻機廠商,而且最頂尖的EUV光刻機更是獨家壟斷。

日前與媒體交流時,ASML技術開發(fā)副總裁Tony Yen確認了此前外界的猜測,他表示EUV光刻機目前有三大客戶,分別是臺積電、三星和Intel。

至于同樣制造光刻機的日本佳能、尼康為何在EUV上掉隊,Yen指出,我們從2000年左右開發(fā)EUV,并決定大批量生產這種光刻機。

日本人沒有這么做,因為他們覺得系統(tǒng)太復雜。實際上,我們當時也不是100%確信EUV光刻機會成功。

當然,Yen提到,EUV光刻機的成功還有蔡司、Cymer(已被ASML收購)等企業(yè)參與,其中蔡司獨家向ASML出售半導體相關的曝光產品。

據官方披露的數(shù)據,去年全球光刻機總銷售量為413臺,其中ASML銷售258臺占比62%,佳能銷售122臺占比30%,尼康銷售33臺占比8%。從光刻機類型來看,尼康出貨的主要是ArF immersion、ArF dry,佳能主要是KrF、i-line(份額69%)。

作者:萬南來源:快科技

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