前言：

最近美國的禁令讓中國整個半導體行業(yè)都蒙上了一層陰影。而最為要緊的是光刻機的國產(chǎn)化進程。

芯片制造設(shè)備比重突出

據(jù)Semi統(tǒng)計，2019年全球半導體設(shè)備市場達597．4億美元，設(shè)備投資占晶圓廠整體資本支出的70％－80％，其中用于芯片制造的設(shè)備占半導體設(shè)備總支出的81％。

光刻、刻蝕、薄膜沉積設(shè)備三大設(shè)備成為推動28nm及以下先進工藝發(fā)展的主要力量，分別占半導體晶圓處理設(shè)備的23％、24％、18％。

與產(chǎn)品相關(guān)的供應(yīng)商提供直接用于生產(chǎn)光刻系統(tǒng)的材料、設(shè)備、零部件和工具，這個類別包括790家供應(yīng)商，占ASML總開支的66％。

逃不過美國的緊箍咒限制

2012年ASML收購EUV光源提供商Cymer，此前Cymer就和ASML合作已久；2016年ASML公司取得光學鏡片龍頭德國蔡司24．9％的股份，以加快推進更大數(shù)值孔徑（NA）的EUV光學系統(tǒng)。這些收購使得ASML幾乎參與了整個EUV光刻上游產(chǎn)業(yè)鏈。

但收購美國企業(yè)的過程使ASML必須同意在美國建立一所工廠和一個研發(fā)中心，以此滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求。

另外，還需要保證55％的零部件均從美國供應(yīng)商處采購，并接受定期審查，這也為日后ASML向中國出口光刻機受到美國管制埋下伏筆。

在光刻機的研究初期，是美國的英特爾聯(lián)合美國三大國家實驗室再加上數(shù)百名當時頂尖的科學家和工程師研究出來的，但是美國本土并沒有強大的光刻機集團，于是ASML就被美國借雞生蛋，所以其實光刻機的很多核心技術(shù)都是美國的。

在美國禁令之下，ASML根本沒有反抗的余地，若不是這個原因，ASML怎么可能會放棄中國這個龐大的市場。

我國光刻機進步中底氣不足

目前所有中國企業(yè)中，只有中芯國際向ASML訂購了一臺EUV光刻機，原計劃于2019年交付，但由于2018年底ASML的元件供應(yīng)商Prodrive工廠的部分庫存、生產(chǎn)線被火災(zāi)摧毀；

再加上2020年疫情原因，直到現(xiàn)在ASML的EUV設(shè)備還未向中芯國際交付，目前預(yù)計這批設(shè)備最快在2020年底前完成裝機。

EUV光刻機單價達到了驚人的1．15億歐元／臺，約合1．3億美元，9．2億人民幣，是浸沒式光刻機價格的兩倍。

雖然我們花了重金請了行業(yè)內(nèi)頂尖的人才，但是基礎(chǔ)的芯片工程師卻嚴重匱乏。

做芯片就好比建大樓，我們雖然能花錢搭鋼架，但是沒有混凝土填充進來，這個樓依然蓋不好。

高端光刻機和高端航空發(fā)動機、高端極精密數(shù)控機床等，涉及的領(lǐng)域很多，設(shè)計、材料、加工、工藝、檢測、標準等等，這些都是靠人才、考研究、技術(shù)積累，靠時間的投入，當然也要大量的資金。

目前參與國內(nèi)光刻機研發(fā)的有高校、企業(yè)和研究所，力量分散，而選擇的技術(shù)路徑難度也過高。

同時，當下更要補齊我國在光刻機領(lǐng)域人才的缺失。2000年大批留學的半導體人士懷揣家國情懷選擇回國發(fā)展，帶來了一個繁榮的產(chǎn)業(yè)開端。

但可惜的是后期人才培育沒有跟上步伐，看上去總想著靠錢挖人，這并不能建起一個扎實的產(chǎn)業(yè)人才基礎(chǔ)。