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硅時代電子科技為您解答 mems加工技術工藝與ic工藝區(qū)別

2020-07-07 15:17

蘇州硅時代電子科技有限公司（Si－Era），位于國內最的大的MEMS產業(yè)集聚區(qū)——蘇州納米城。利用MEMS領域近20年的技術積累，在MEMS傳感器、生物MEMS、光學MEMS以及射頻MEMS方面都擁有大量的設計和工藝經驗。

MEMS加工技術工藝是根據產品需要，在各類襯底（硅襯底，玻璃襯底，石英襯底，藍寶石襯底等等）制作微米級微型結構的加工工藝。而ic工藝則側重于半導體器件的制作，其襯底基本以硅襯底為主，少數特殊器件會使用GaAs／GaN等材料，其工藝核心是為了制作高集成度的各類器件，目前已經做到納米級，特征尺寸更加精細。

MEMS加工技術工藝制作的微型結構主要是作為各類傳感器和執(zhí)行器等，其中更加器件原理需要而制作的可動結構（齒輪，懸臂梁，空腔，橋結構等等）以及各種功能材料，本質上是將環(huán)境中的各種特征參數（溫度，壓力，氣體，流量等等）變化通過微型結構轉化為各種電信號（電壓，電阻，電流等等）的差異，以實現小型化高靈敏的傳感器和執(zhí)行器。

ic工藝則側重各類半導體電學器件的加工，其工作都是圍繞各類電學性能展開，不涉及外界環(huán)境物理參數，其要求重點是各類器件的高集成和高精度，加工尺寸根據摩爾定律有最初的微米級提升至目前的納米級。其涉及的各類材料更多的考量電學性能優(yōu)化，不關注環(huán)境參數。

IDM廠主要制造自己產品，同時也會利用富余產能對外代工服務，國內靠譜的IDM MEMS代工廠主要有士蘭微電子，華潤微電子，美太電子等。

純MEMS代工廠根據規(guī)劃和業(yè)務重點分為量產大批量代工和小批量中試線：

量產大批量MEMS代工廠國內主要有臺積電，中芯國際（紹興），華潤上華等，目前正在建設中的Silex北京也值得期待；

小批量MEMS中試線代工廠國內主要有上海新微8寸中試線，蘇州微納6寸中試線等，同時中科院納米所，微電子所等研究機構也提供可靠的小批量MEMS代工業(yè)務。

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