目前市場上常用的生產(chǎn)型離子注入機(jī)主要包括低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束流離子注入機(jī)這三種，其中低能大束流離子注入機(jī)應(yīng)用范圍較廣。

離子注入機(jī)是半導(dǎo)體晶圓制造等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備之一。在半導(dǎo)體晶圓制造中，由于純凈硅的導(dǎo)電性能很差，需要加入少量雜質(zhì)使其結(jié)構(gòu)和電導(dǎo)率發(fā)生改變，從而變成一種有用的半導(dǎo)體，這個過程稱為摻雜。目前摻雜主要有高溫?zé)釘U(kuò)散法和離子注入法兩種，其中離子注入法應(yīng)用較為廣泛，市場對離子注入機(jī)的使用需求也在逐漸擴(kuò)大。

目前市場上常用的生產(chǎn)型離子注入機(jī)主要包括低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束流離子注入機(jī)這三種，其中低能大束流離子注入機(jī)應(yīng)用范圍較廣。離子注入機(jī)主要應(yīng)用于集成電路與IGBT制造、太陽能電池生產(chǎn)、AMOLED面板制造等多個領(lǐng)域。近年來，我國政府先后出臺了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》、《鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展企業(yè)所得稅政策》等相關(guān)利好政策，從稅收、資金等多個方面為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)給予扶持，這也在一定程度上促進(jìn)了我國離子注入機(jī)市場的持續(xù)發(fā)展。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2020－2025年中國離子注入機(jī)行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測報告》顯示，離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體晶圓制造等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備之一，其市場發(fā)展與晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢息息相關(guān)。2019年，全球晶圓加工設(shè)備市場規(guī)模增長至650億美元以上，較上一年增長近30個百分點(diǎn)。其中離子注入機(jī)占晶圓加工設(shè)備的比重約為5％，因此在2019年，全球離子注入機(jī)市場規(guī)模將近達(dá)到20億美元。而就中國的情況來看，由于國家對半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)業(yè)的高度重視，我國離子注入機(jī)市場發(fā)展逐漸加快，在2019年市場規(guī)模已經(jīng)增長至4．0億美元，預(yù)計(jì)發(fā)展到2020年將達(dá)到5．5億美元以上，未來市場潛力也是相當(dāng)巨大。

從市場格局來看，目前在全球離子注入機(jī)市場，美國和日本的部分先進(jìn)企業(yè)占據(jù)著主導(dǎo)地位，主要有日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN（瓦里安）、SEN和Invetac等，在市場上有著極強(qiáng)的競爭力。而在中國市場，由于市場起步較晚，技術(shù)水平與國外先進(jìn)企業(yè)相比仍有著巨大差距，目前我國具有代表性的本土企業(yè)主要有凱世通和北京中科信電子裝備這兩家，未來本土企業(yè)發(fā)展空間仍然巨大。

新思界行業(yè)分析人士表示，近年來，我國政府對半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)業(yè)高度重視，而離子注入機(jī)作為半導(dǎo)體晶圓制造等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備之一，其市場發(fā)展?jié)摿σ蚕喈?dāng)巨大。就目前來看，由于我國離子注入機(jī)市場起步較晚，導(dǎo)致國內(nèi)相關(guān)生產(chǎn)制造技術(shù)水平不高，未來本土企業(yè)發(fā)展空間巨大。