我們之前的文章系統(tǒng)性介紹了“厚膜光刻”或“厚膜光蝕”（Thick Film Lithography）工藝的技術(shù)原理，并且通過現(xiàn)有成熟量產(chǎn)案例說明了該工藝與低溫共燒陶瓷（LTCC）技術(shù)的完美應用匹配性及優(yōu)勢，以及上世紀末已在PDP（等離子顯示板）制造中的創(chuàng)新應用。

簡單概括，“厚膜光刻”工藝是一種通過厚膜金屬化技術(shù)（簡稱“厚膜技術(shù)”）與光刻技術(shù)相結(jié)合，達到高精度、低成本、高效率、高靈活性，并已開始成熟商用化的新型微納量產(chǎn)制造技術(shù)�！昂衲す饪獭北举|(zhì)上是精度升級后的厚膜技術(shù)，也是印刷電子領(lǐng)域的尖端技術(shù)之一，“厚膜光刻”技術(shù)做為厚膜技術(shù)的重要組成部分，成功彌補了傳統(tǒng)的絲網(wǎng)印刷厚膜技術(shù)難以量產(chǎn)小于75um線寬的缺陷，使厚膜技術(shù)的量產(chǎn)能力完整覆蓋1um－100um區(qū)間。

厚膜技術(shù)因其高可靠性和高性能在汽車領(lǐng)域、消費電子、通信工程、醫(yī)療設備、航空航天等尖端產(chǎn)業(yè)中一直有大范圍的應用。例如：開關(guān)穩(wěn)壓電源電路、視放電路、幀輸出電路、電壓設定電路、高壓限制電路，飛行器的通信、電視、雷達、遙感和遙測系統(tǒng)，發(fā)電機電壓調(diào)節(jié)器、電子點火器和燃油噴射系統(tǒng)，磁學與超導膜式器件、聲表面波器件、膜式敏感器件等。

在厚膜技術(shù)中，通常用的是絲網(wǎng)印刷工藝，印刷用電子漿料或?qū)щ娔�水等材料是整套工藝技術(shù)的核心所在。在電子工業(yè)制造中應用了絲網(wǎng)印刷技術(shù)的有：電阻芯片、微電子電路和封裝、電阻傳感器、加熱器、生物傳感器的電極和零件、射頻無源器件、混合集成電路、光電顯示等等（參見下表）。

絲網(wǎng)印刷是印刷電子領(lǐng)域普及最廣的技術(shù)路徑，當高速印刷技術(shù)無法處理導電油墨或者鍍膜技術(shù)無法一次性生產(chǎn)出足夠厚的層以滿足所需的電導性等情況下，基于絲網(wǎng)印刷的厚膜技術(shù)會提供更有效的導電圖案制作方法，因此絲網(wǎng)印刷往往也是印刷電子制造的首選方案。但制造精度不高一直是絲網(wǎng)印刷亟待解決的痛點。

“厚膜光刻”（Thick Film Lithography）作為印刷電子的新興技術(shù)，兼容了光刻技術(shù)的高精度同時也兼容了絲網(wǎng)印刷技術(shù)的靈活性和廣范適應性，是印刷電子領(lǐng)域中為數(shù)極少的成熟商用化高精度技術(shù)路徑，這一技術(shù)的快速商用化，將大幅加速印刷電子領(lǐng)域的各產(chǎn)業(yè)方向全面進化和升級。

參考資料：

［1］絲網(wǎng)印刷工藝的工業(yè)應用

［2］Happy Holden，A Review of the Opportunities and Processes for Printed Electronics

［3］探究改變電子元器件制造的Thick Film Lithography工藝技術(shù)（一）

［4］探究改變電子元器件制造的Thick Film Lithography工藝技術(shù)（二）

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       原文標題 : 印刷電子制造中的厚膜光刻技術(shù)